CVDシステム用VRD16真空ポンプを備えた真空システム

i.の概要

システム（チューブ炉内の真空を0 . 6paにポンプできる）は、KF25インターフェース,高真空バッフル法,抵抗真空ゲージ,ベローズ,を備えた吸引フランジ（自作）で構成されていますブラケット（自家製）,真空ポンプはフランジ出口でティーパイプを接続します,抵抗シリコンを三方パイプの一方の端に接続します,高真空フラッパバルブをもう一方の端に接続します,フラッパバルブと真空ポンプをdia25,の波形で接続し、接続ポート..にKF25クイッククランプを使用します。

2.圧力検出システム

zdr-i/zdr-i-led型単抵抗真空計

抵抗真空計（ピラニ真空計とも呼ばれます）は、特別に安定化されたZJ-52T抵抗計を使用し、新しい定温動作モードを定電力に適用します.。同時にマイクロプロセッサを使用して制御します,レギュレーションの非線形性.線形処理.安定した性能,広い測定範囲,高速応答と小さなドリフト.および強力で信頼性の高いマイクロプロセッサベースのリレー制御,シリアル通信出力,真空アナログ出力およびその他の機能.は、大まかな低真空の測定および真空アプリケーションの制御に特に適しています.

技術的パラメータ：

*配電規制：ZJ-52T抵抗ゲージ

※測定範囲：10 5〜10 -1 pa

*測定回数：片道

*制御チャネルの数：2本の道路を4本または8本の道路に延長できます

*制御範囲：5×10 3〜5×10 -1 pa

*制御モード：リレー接点出力,負荷容量AC220V / 3A（またはDC28V / 3A）非誘導負荷

*電力：90-260v / 50hzまたは220V±10％50hz

*消費電力：25W

*重量：4kg / 3kg / 0 . 5kg（シャーシによって異なります）

*シャーシサイズ：240×88×280または265×119×280または96×96×120

480×88×280または480×119×280（幅×高さ×奥行き）

性能特性：

*LEDグリーンスクリーンデジタルディスプレイ.

*幅広い星の調査

*速い応答速度

*マイクロコンピューター補正は非直線性を調整し、測定誤差を低減します.

*光絶縁,デジタルフィルタリング,強化された干渉防止能力.

*PVCカラーパネル,美しい外観.

※ポイント制御またはエリアリレー制御出力,、セットポイントにはパワーダウン保護メモリ機能.があります。

3.VRD16真空ポンプを採用

1つの標準的な輸出パッケージ：内部衝突防止保護,外部輸出木箱パッケージ.

2エクスプレスでの配送,飛行機での配送,お客様の要件に応じた海上での配送'最適な方法を見つけるための要件.

発送プロセス中の損傷の責任を負う3,は、損傷部分を無料で変更します.