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実験炉

CVD炉

CVDシステム用VRD16真空ポンプを備えたVS-0.1真空システム

CVDシステム用VRD16真空ポンプを備えたVS-0.1真空システム

営業部長: ギア

Eメール: gia @ tmaxlaboratory . com

wechat: dingqiuna

  • アイテム番号.:

    TMAX-0.1vacuum
  • 支払い:

    L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
  • 出荷ポート:

    Xiamen Port
  • リードタイム:

    5 Days
  • 証明書 :

    CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate
  • 保証 :

    Two years limited warranty with lifetime technical support
製品詳細

CVDシステム用VRD16真空ポンプを備えた真空システム



i.の概要

システム(チューブ炉内の真空を0 . 6paにポンプできる)は、KF25インターフェース,高真空バッフル法,抵抗真空ゲージ,ベローズ,を備えた吸引フランジ(自作)で構成されていますブラケット(自家製),真空ポンプはフランジ出口でティーパイプを接続します,抵抗シリコンを三方パイプの一方の端に接続します,高真空フラッパバルブをもう一方の端に接続します,フラッパバルブと真空ポンプをdia25,の波形で接続し、接続ポート..にKF25クイッククランプを使用します。

2.圧力検出システム

zdr-i/zdr-i-led型単抵抗真空計

抵抗真空計(ピラニ真空計とも呼ばれます)は、特別に安定化されたZJ-52T抵抗計を使用し、新しい定温動作モードを定電力に適用します.。同時にマイクロプロセッサを使用して制御します,レギュレーションの非線形性.線形処理.安定した性能,広い測定範囲,高速応答と小さなドリフト.および強力で信頼性の高いマイクロプロセッサベースのリレー制御,シリアル通信出力,真空アナログ出力およびその他の機能.は、大まかな低真空の測定および真空アプリケーションの制御に特に適しています.

技術的パラメータ:

*配電規制:ZJ-52T抵抗ゲージ

※測定範囲:10 5〜10 -1 pa

*測定回数:片道

*制御チャネルの数:2本の道路を4本または8本の道路に延長できます

*制御範囲:5×10 3〜5×10 -1 pa

*制御モード:リレー接点出力,負荷容量AC220V / 3A(またはDC28V / 3A)非誘導負荷

*電力:90-260v / 50hzまたは220V±10%50hz

*消費電力:25W

*重量:4kg / 3kg / 0 . 5kg(シャーシによって異なります)

*シャーシサイズ:240×88×280または265×119×280または96×96×120

480×88×280または480×119×280(幅×高さ×奥行き)


性能特性:

*LEDグリーンスクリーンデジタルディスプレイ.

*幅広い星の調査

*速い応答速度

*マイクロコンピューター補正は非直線性を調整し、測定誤差を低減します.

*光絶縁,デジタルフィルタリング,強化された干渉防止能力.

*PVCカラーパネル,美しい外観.

※ポイント制御またはエリアリレー制御出力,、セットポイントにはパワーダウン保護メモリ機能.があります。

3.VRD16真空ポンプを採用

vrd16

専門用語

仕様

vrd-16

ポンプ速度m³/h(l / s)

50Hz

16m³/h

4 . 4 l / s

60hz

19.2m³/h

5 . 2 l / s

分圧を制限する-ガスバラストなし(pa)

4x10-2

全圧を制限する-ガスバラストなし(pa)

4x10-1

全圧を制限する-ガスバラスト(pa)

8x10-1

電源

単相/3相

モーター出力(kw)

0 . 75 KW / 0 . 55 kw

インレット/アウトレット接続dn

kf25

オイル容量

0 . 9-1 . 5 l

モーター速度(rpm)

50Hz

1440 rpm


vacuum system


Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



1つの標準的な輸出パッケージ:内部衝突防止保護,外部輸出木箱パッケージ.

2エクスプレスでの配送,飛行機での配送,お客様の要件に応じた海上での配送'最適な方法を見つけるための要件.

発送プロセス中の損傷の責任を負う3,は、損傷部分を無料で変更します.



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