ガス供給システムと真空システムを備えた1600CCVD炉

営業部長：ギア

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アイテム番号.:
TMAX-1600PECVD
支払い:
L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
出荷ポート:
Xiamen Port
リードタイム:
5 Days
証明書 :
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate
保証 :
Two years limited warranty with lifetime technical support

お問い合わせ

製品詳細

ガス供給システムと真空システムを備えた1600CPECVD炉

PECVDシステムは、主に金属薄膜の成長に使用される、管炉,石英真空チャンバー,真空システム,ガス供給システム,および高周波電源システム.で構成されています。 ,セラミック薄膜,複合薄膜,グラフェン,など.機能の追加が簡単,で、プラズマ洗浄やエッチングなどの機能を拡張できます.PECVDシステムには高い膜堆積速度の利点,良好な均一性,高い一貫性と安定性.

詳細な技術的パラメータ

モデル

tl1600-i

パワー

5kw

チューブサイズ（od）（mm）

高純度コランダムチューブ：60mm（チューブ径）

2つの炉プラグが両側に配置されています.炉プラグは、炉管の中央で熱放射を遮断する可能性があるため、加熱する前に炉内の正しい位置に配置する必要があります.。

寸法

1120x490x855

供給電圧

220v

段階

単相

発熱体

1800モデルシリコンモリブデンバー

温度制御タイプ

yudianプログラム温度制御機器を使用（標準）

1.30セグメントプログラム温度制御インテリジェントPID調整.

2 .過熱保護付き,温度が過熱したり、カップルが壊れたりすると、電気炉の加熱回路が自動的に遮断されます.オン,パネルのオンライトがオフになります,オフライトが点灯し,、電気炉は限定的に保護されています）.

3 . 485通信インターフェース付き（オプションのソフトウェアで標準）

4 .停電保護機能,、つまり,電源を切った後に炉の電源を入れたとき,プログラムは初期温度から開始しません,、電源OFF時の炉内温度.

5.メーターには温度セルフチューニングの機能があります

（輸入楽器の交換には追加料金が必要です,オプション）

fp93インスツルメントEUROTHERMインスツルメントタッチスクリーンインスツルメント

（島伝,日本）

チャンバー材料

1.炉床材料は高品質のアルミナ多結晶繊維でできています.

2 .内部炉の表面は、輸入された1800度の高温アルミナコーティング,でコーティングされています。これにより、放射率が向上し、温度場のバランスが向上します.。

バルブとフランジ

制御精度

+/-1℃

引き金

位相シフトトリガー

電化製品

浙江チント

シリコン制御

106/16eセミクロン

max . temp

1600℃

定格温度

1550℃

加熱速度

≤20℃/分（必要に応じて変更可能）

推奨される加熱速度

≤10℃/分

熱電対モデル

bタイプ

加熱セクションの長さ

300mm

周囲表面温度

≤45℃

真空システム

vs-0.1真空システム

vs-0 . 1真空システムは、管状炉チューブの真空度を0 . 1pa（および抵抗真空計ディスプレイを装備）に引き出すことができます.

LEDグリーンスクリーンデジタルディスプレイ付き.

VRD16真空ポンプを採用

vrd16	専門用語		仕様
vrd-16	ポンプ速度m³/h（l / s）	50Hz	16m³/h
			4 . 4 l / s
		60hz	19.2m³/h
			5 . 2 l / s
	分圧を制限する-ガスバラストなし（pa）		4x10-2
	全圧を制限する-ガスバラストなし（pa）		4x10-1
	全圧を制限する-ガスバラスト（pa）		8x10-1
	電源		単相/3相
	モーター出力（kw）		0 . 75 KW / 0 . 55 kw
	インレット/アウトレット接続dn		kf25
	オイル容量		0 . 9-1 . 5 l
	モーター速度（rpm）	50Hz	1440 rpm

ガス供給システム

ガス流量計ガス供給システム

技術的パラメータ：

l空気圧チャネル：6

l空気圧フロー制御：質量流量計を使用.

lキャビネットサイズ：600x600x600mm

lLEDディスプレイ付き

l質量流量計の技術的パラメータ：

インターフェース	Φ6
画面	導いた
作業環境温度	5〜45℃
フローコントローラー	プロトンフローコントローラーを使用しています,背面をご覧ください
ステンレス鋼管	Φ6外側XΦ4内側
圧力真空テーブル	-0 . 1〜0 . 15 mpa , 0 . 01 mpa / div
ストップバルブ	Φ6
フロー制御	plcインテリジェント制御

マスフローコントローラーの技術的パラメーター：

製品説明：一般的なタイプ,アナログ回路

製品詳細説明：通常タイプ,アナログ回路,ラバーシール,管状シャント,ブロックしにくい.

主な指標：

範囲	5 , 10 , 20 , 30 , 50 , 100 , 200sccm（任意の範囲を選択可能）注文時に確認してください
正確さ	±1％f . s
線形	0 . 5％f . s
再現性	±0.2％f . s
反応時間	1S
空気圧低下	<0 . 01mpa
最大圧力	3mp
作業環境温度	5〜45℃
入出力信号	0〜+ 5 . 00v
電源	+ 15v 50ma -15V 50ma
寸法	158 * 30 * 110
重さ	0 . 9 kg

ガス供給システムの構成：

プロトン流量計	6
機械式圧力計（範囲-0 . 1〜0 . 15mpa）	1
ステンレス鋼グローブバルブ	6
ステンレス鋼のスループレートコネクタ	6
ステンレス鋼のバルブジョイント	2
ステンレス鋼シリンダーコネクタ	6
ptfeチューブ	30m
dia80x140mmガス混合タンク	1
ファーネスフレーム	1セット

rfジェネレーター/RF電源

RF電源の主な技術的パラメータ：

電力出力範囲	0-500w
最大反射電力	200ワット
動作周波数	rf： 13.56mhz±0.005％
電力安定性	+/- 0 . 1％
高調波成分	≤-50dbc
rf領域幅	0-600mm 調整可能
マッチング方法	自動
冷却モード	風邪のポイント
ノイズ	<50db
無線周波数インターフェース	50Ωn型
入力電力	208-240v 50 / 60hz

保証

1年間の保証と生涯のテクニカルサポート

特記事項：

1.発熱体,炉管,サンプルるつぼ,などの消耗部品.は保証期間内ではありません.

2.腐食性ガスおよび酸性ガスの使用によって引き起こされた損傷は保証の対象外です.

予防

1.炉管内の空気圧は0.02mpaを超えてはなりません

2 .ガスボンベ内の空気圧が高いため,ガスを炉管に導入するときは、ガスボンベに圧力逃が弁を取り付ける必要があります.安全を確保するために,使用することをお勧めします0.02mpa未満の圧力

3 .使用する炉管がコランダム管の場合,炉体温度が1500℃を超える場合,炉管は真空状態にしないでください,、炉管内の空気圧は大気圧と等しくなる.

4 .高温の炉管への冷たい空気の流れの影響を避けるために、炉管へのガスの流れは200SCCM未満である必要があります。

5 .サンプル加熱実験,では、サンプルを加熱するためにガスバルブを閉じる必要がある場合,、炉管フランジ端の排気バルブと入口バルブを閉じることはお勧めしません,。圧力が0.02mpa ,より大きい場合は、圧力計.の表示に常に注意してください。事故（炉管の破裂,フランジの飛び出し,など）を防ぐために、すぐに排気バルブを開く必要があります。 3 etc .）.

6.アルミナチューブにグラファイトるつぼを使用しないでください.

7 . mosi2発熱体は、低温（400℃〜700℃）で長時間使用しないでください,。そうしないと、発熱体が損傷する可能性があります.。