1500-1500Cデュアルゾーン回転管状炉を備えたラボCVDシステム

CVDシステムはガス供給システム+チューブ炉+真空システム,で構成され、最高温度は1200度,1400度,1600度,および1700度.に達することができます。加熱ゾーンは単一にすることができます温度ゾーン,二重温度ゾーン,3温度ゾーン,など.最終真空は10-3paに達することができます.ガス供給システムは、流量調整用の質量流量計またはフロート流量計にすることができます.ミキシングチャンネルの数は、2チャンネル,3チャンネル,4チャンネル,と5チャンネル.にすることができます。

詳細な技術的パラメータ

gx-3 3チャンネル給気（混合空気）システム

1 . 1 .ガスはシリンダーを出て,減圧弁を介して減圧され,はPTFEチューブを通過してガス供給システムの入口に到達し,、次に質量流量計を通過しますガスの流れを制御し,、ガス混合タンクを通過して、炉の入口に入る.

1 . 2 .ガス混合タンクに圧力計が取り付けられており,、圧力計表示ディスクとプロトン流量計コントローラーが同じパネルに取り付けられています.。

1 . 3 .各ガスラインには、安全のために高圧遮断弁があります.

1 . 4 .ガス経路は高精度ガス質量流量計,を採用し、ガス経路の内部はすべてステンレス鋼管,でできており、耐食性に優れています.。

1 . 5 .ボックス内のすべてのジョイントは、優れた気密性と高圧耐性を備えたステンレス鋼のフェルール,で接続されています.。

2 .技術的パラメータ：

空気圧チャネル：3

ガス流量制御：質量流量計.

キャビネットの寸法：600x600x600mm

質量流量計の技術的パラメータ：

インターフェース：Φ6

ディスプレイ：led

作業環境温度：5〜45°C

フローコントローラー：プロトンフローコントローラーのパラメーターを確認してください

ステンレス鋼管：Φ6外側XΦ4

圧力真空テーブル：-0 . 1〜0 . 15 mpa , 0 . 01 mpa / Division

ストップバルブ：Φ6

フロー制御：PLCインテリジェント制御

3 .質量流量計の技術的パラメータ：

製品名：マスフローコントローラー

製品説明：通常型,アナログ回路

製品詳細：通常,アナログ回路,ラバーシール,管状シャント,ブロックしにくい.

主な指標：範囲：5 , 10 , 20 , 30 , 50 , 100 , 200 , 300 , 500 SCCM , 1 , 2 , 3 , 5 , 10 SLM（範囲は任意に選択できます）

•精度：±1％F . S

•線形：0 . 5％F . S

•再現性：±0 . 2％F . S

•応答時間：1S

•空気圧降下：<0 . 01mpa

•最大圧力：3MP

•作業環境温度：5〜45°C

•入力および出力信号：0〜+ 5 . 00V

•電力：+ 15V 50ma -15V 50ma

•寸法：158 * 30 * 110

•重量：0 . 9 kgg

4 .ガス供給システムの構成：

1 .プロトン流量計：3

2 .機械式圧力計（範囲-0 . 1〜0 . 15mpa）：1

3 .ステンレス鋼カットオフバルブ：4

4 .ステンレス鋼板ジョイント：4

5 .ステンレス鋼バルブコネクタ：2

6 .ステンレス鋼シリンダーコネクタ：3

7 . PTFEチューブ：15M

8 .混合タンク径80x140mm：1

vs高真空システム

1つの標準的な輸出パッケージ：内部衝突防止保護,外部輸出木箱パッケージ.

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