ラボ1200Cシングルゾーン管状炉CVDシステム

the cvdシステム で構成されています ガス供給システム+ 管状炉+ 真空システム ,そして最高温度は1200度,1400度,1600度,と1700度.に達することができます加熱ゾーンは単一温度ゾーン,二重温度ゾーン,3温度ゾーンにすることができます,など.究極の真空が到達できる 10-3pa .ガス供給システムは、流量調整用の質量流量計またはフロート流量計にすることができます.混合チャネルの数は2チャネル,3チャネル,4チャネル,および5チャネル.にすることができます

管状炉の詳細な技術パラメータ

タイプ	1200-i	1200-ii	1200-iii	1200-v	1200-vi	1200-vii
パワー	3 . 5kw	3 . 5kw	3 . 5kw	5kw	6kw	7kw
チューブサイズ（od（mm）	直径60x1000	dia80x1000	dia100x1000	dia150x1000	dia200x1000	dia250x1000
寸法	1140x450x690	1140x450x690	1140x450x690	1110x530x755	1120x580x805	1314x680x905
供給電圧	220v
段階	単相
発熱体	抵抗線
温度管理	uavプログラム温度制御装置（標準） 1,30段階のプログラム温度制御インテリジェントPID調整. 2 .過熱保護付き,温度が過熱または破損した場合,（電気炉の温度が1200度を超えた場合、または熱電対が飛んだ場合,）、電気炉加熱回路は自動的に遮断されます。主回路のACリレーは自動的に切断されます,主回路が切断されます.オン,パネルのオンライトがオフになります,オフライトがオンになります,そして制限付き保護電気かまど）. 3 , 485通信インターフェース付き（ソフトウェア購入時の標準） 4 ,電源オフ保護機能,、つまり,電源をオフにした後に電源をオンにしたとき,プログラムは開始温度,から開始しませんが、炉の温度は上昇します停電時から. 5,メーターには温度セルフチューニングの機能があります （輸入楽器の交換には追加料金が必要です,オプション） fp93温度調節器（shimashima , japan）ヨーロッパ機器タッチスクリーン機器
チャンバー材料	1.真空吸引ろ過により形成された高品質で高純度のアルミナ多結晶繊維硬化炉. 2.日本の技術によって形成された. 3 .炉内の抵抗線の間隔とピッチはすべて、日本で最高の熱技術,に従って配置され、温度場は熱ソフトウェア.によってシミュレートされます。
バルブとフランジ
60/80/100上面図
温度校正（オプション）	管状炉の定期的な温度校正は、炉の温度の精度と均一性を維持します.この作業を支援するために会社から簡単な校正ツールを購入できます.完全な校正キットには標準の熱電対sタイプが含まれています,温度校正器.
制御精度	+/-1℃
引き金	位相シフトトリガー
電化製品	浙江チント
シリコン制御	106/16エセミクロン
最高温度	1200℃
定格温度	1150℃
加熱速度	≤30℃/分（必要に応じて変更可能）
推奨温度上昇率	≤15℃/分
熱電対タイプ	kタイプ
加熱長さ	400-440mm
一定の温度の長さ	150mm
温度場曲線
周辺表面温度	≤45℃
オープンカバー保護システム	炉のカバーが開くと,、リレーは自動的に主電源を遮断し,、ユーザーの安全を効果的に確保します.

vs-0 . 1真空システム（vrd16）

システム（チューブ炉内の真空を0 . 6paにポンプできる）は、KF25インターフェース,高真空バッフル法,抵抗真空ゲージ,ベローズ,を備えた吸引フランジ（自作）で構成されていますブラケット（自家製）,真空ポンプはフランジ出口でティーパイプを接続します,抵抗シリコンを三方パイプの一方の端に接続します,高真空フラッパバルブをもう一方の端に接続します,フラッパバルブと真空ポンプをdia25,の波形で接続し、接続ポート..にKF25クイッククランプを使用します。

1.圧力検出システム

zdr-i/zdr-i-led型単抵抗真空計

抵抗真空計（ピラニ真空計とも呼ばれます）は、特別に安定化されたZJ-52T抵抗計を使用し、新しい定温動作モードを定電力に適用します.。同時にマイクロプロセッサを使用して制御します,レギュレーションの非線形性.線形処理.安定した性能,広い測定範囲,高速応答と小さなドリフト.および強力で信頼性の高いマイクロプロセッサベースのリレー制御,シリアル通信出力,真空アナログ出力およびその他の機能.は、大まかな低真空の測定および真空アプリケーションの制御に特に適しています.

2 .技術的パラメータ：

*配電規制：ZJ-52T抵抗ゲージ

※測定範囲：10 5〜10 -1 pa

*測定回数：片道

*制御チャネルの数：2本の道路を4本または8本の道路に延長できます

*制御範囲：5×10 3〜5×10 -1 pa

*制御モード：リレー接点出力,負荷容量AC220V / 3A（またはDC28V / 3A）非誘導負荷

*電力：90-260v / 50hzまたは220V±10％50hz

*消費電力：25W

*重量：4kg / 3kg / 0 . 5kg（シャーシによって異なります）

*シャーシサイズ：240×88×280または265×119×280または96×96×120

480×88×280または480×119×280（幅×高さ×奥行き）

3 .パフォーマンス特性：

*LEDグリーンスクリーンデジタルディスプレイ.

*幅広い星の調査

*速い応答速度

*マイクロコンピューター補正は非直線性を調整し、測定誤差を低減します.

*光絶縁,デジタルフィルタリング,強化された干渉防止能力.

*PVCカラーパネル,美しい外観.

※ポイント制御またはエリアリレー制御出力,、セットポイントにはパワーダウン保護メモリ機能.があります。

4.VRD16真空ポンプを採用

2チャンネル質量流量計ガス供給システム

1.概要

1）シリンダーから出たガス,減圧弁,を介して減圧し、PTFEチューブを通過してガス供給システム,の入口に到達し、質量流量計,を通過するガスの流れを制御します。 次にガス混合タンクを通過し、次に炉の入口に入り,、ガスが排出されます.気管が出てきます,三方弁を通過します,一端が真空ポンプに接続されます,そして一端は空気出口に接続されています.

2）ガス混合槽に圧力計を接続し,、圧力計表示ディスクと質量流量計を同一パネルに設置.。

3）各ガスラインには安全のための高圧遮断弁があります.

4）ガス経路には高精度ガスフロート流量計,を採用し、ガス経路の内部には耐食性に優れたPTFEチューブ,を採用しています.。

5）すべてのジョイントは、優れた気密性と高圧耐性を備えたフェルール,で接続されています.。

2 .技術的パラメータ：

エアチャンネル：2

空気圧フロー制御：マスフローコントローラー.

インターフェース：Φ6

ディスプレイ：led

作業環境温度：5〜45°C

フローコントローラー：マスフローコントローラー（詳細な技術パラメーターについては、以下を参照してください）

ptfeチューブ：xΦ4の外側のΦ6

圧力真空計：-0 . 1〜0 . 15 mpa , 0 . 01 mpa / Division

グローブバルブ：Φ6

3 .ガス供給システムの内圧は大きすぎないようにしてください,。そうしないと、ガスが正常に流出できる限り,空気漏れが発生しやすくなります.。

4 .ガス供給システムの構成：

1）質量流量計：2

2）圧力計：1

3）カットオフバルブ：3

4）ボードコネクタを介して：3

5）バルブコネクタ：2

6）シリンダージョイント：2

7）テフロンチューブ：10M

8）曝気槽：1

9）ファーネスラック：1セット

マスフローメーターの技術的パラメーター：マスフローコントローラーの一般的なタイプ,アナログ回路,ラバーシール,管状シャント,ブロックしにくい.

主な指標：

範囲：5 , 10 , 20 , 30 , 50 , 100 , 200 , 300 , 500 SCCM , 1 , 2 , 3 , 5 , 10 SLM（範囲は任意に選択できます）

•精度：±1 . 5％F . S

•線形：±0.5から1.5％F . S

•再現性：±0 . 2％F . S

•応答時間：10S

•空気圧降下：<0 . 01mpa

•最大圧力：3MP

•作業環境温度：5〜45°C

•入力および出力信号：0〜+ 5 . 00V

•電力：+ 15V 50ma -15V 50ma

•寸法：158 * 30 * 110

1つの標準的な輸出パッケージ：内部衝突防止保護,外部輸出木箱パッケージ.

2エクスプレスでの配送,飛行機での配送,お客様の要件に応じた海上での配送'最適な方法を見つけるための要件.

発送プロセス中の損傷の責任を負う3,は、損傷部分を無料で変更します.