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スパッタリングコーティング装置 |
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低真空 |
マグネトロンスパッタリング |
900M(シングルターゲット) |
プラズマスパッタリング |
900 amd 800(単一ターゲット); SD-2000III(ターゲット3体) |
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熱蒸発 |
800Cおよび980(カーボンロープ、ターゲットヘッドなし) |
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マグネトロンスパッタリング+熱蒸着 |
900C(シングルターゲット)、その他の場合はカーボンロープ |
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高真空 |
マグネトロンスパッタリング |
SD-650MH(DC+DC、DC+RF、RF+RF) |
熱蒸発 |
SD-100AF(熱蒸発カーボンロッド、モリブデンボート、タングステン線バー) |
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