真空ポンプ付高真空マグネトロンデュアルヘッドスパッタリングコータ

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製品詳細

真空ポンプ付き高真空マグネトロン両頭スパッタリングコータ

技術仕様

真空ポンプセット	(オイル必要)ロータリー真空ポンプ+(オイルフリー)ターボ分子ポンプセット
ロータリー排気速度	50Hz : 16m³/h (4.4L/s) / 60Hz : 19.2m/h (5.2L/s)
分子ポンピング速度	300 L/秒
真空限界	5×10^-5Pa
使用圧力	0.5～5Pa
バキューム時間	10分(10^-3Pa)
真空測定	測定範囲は大気圧から10^〜6Pa
ガスコントロール	ガスフローコントローラー
チャンバーサイズ	Ï260*200mm (高さ) メタル
マグネトロンターゲットソース	ターゲットサイズÏ50*3mm (Cu) / ターゲットソース：弱磁性体 / 材料
操作方法	取扱説明書
重量/サイズ	100kg / 長さ610mm×幅420mm×高さ490mm
電源	AC110V 60Hz または AC220V 50Hz
消費電力	<3000W
冷却方法	空冷(ポンプ)+水冷(スパッタリングターゲット)
保証	1 年間の限定保証と生涯製品サポート付き

Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace

tube furnace

muffle furnace

1 標準輸出パッケージ: 内部衝突防止保護、外部輸出木箱パッケージ。

2 最適な方法を見つけるために顧客の要件に応じて速達、航空、海で発送します。

3 配送中の破損については責任を負い、破損部分を無料で交換させていただきます。

ホットタグ :

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