加入 TMAX, エージェントになる!

で呼び出す +17759004070

伝言を残す Gia@tmaxlaboratory.com

banner
製品
実験炉

CVD炉

ラボ1200Cシングルゾーン管状炉CVDシステム

ラボ1200Cシングルゾーン管状炉CVDシステム

営業部長: ギア

Eメール: gia @ tmaxlaboratory . com

wechat: dingqiuna

  • アイテム番号.:

    TMAX-1200CVD
  • 支払い:

    L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
  • 出荷ポート:

    Xiamen Port
  • リードタイム:

    5 Days
  • 証明書 :

    CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate
  • 保証 :

    Two years limited warranty with lifetime technical support
製品詳細

ラボ1200Cシングルゾーン管状炉CVDシステム

the cvdシステム で構成されています ガス供給システム+ 管状炉+ 真空システム ,そして最高温度は1200度,1400度,1600度,と1700度.に達することができます加熱ゾーンは単一温度ゾーン,二重温度ゾーン,3温度ゾーンにすることができます,など.究極の真空が到達できる 10-3pa .ガス供給システムは、流量調整用の質量流量計またはフロート流量計にすることができます.混合チャネルの数は2チャネル,3チャネル,4チャネル,および5チャネル.にすることができます


管状炉の詳細な技術パラメータ

タイプ

1200-i

1200-ii

1200-iii

1200-v

1200-vi

1200-vii

パワー

3 . 5kw

3 . 5kw

3 . 5kw

5kw

6kw

7kw

チューブサイズ(od(mm)

直径60x1000

dia80x1000

dia100x1000

dia150x1000

dia200x1000

dia250x1000

寸法

1140x450x690

1140x450x690

1140x450x690

1110x530x755

1120x580x805

1314x680x905

供給電圧

220v

段階

単相

発熱体

抵抗線

温度管理


uavプログラム温度制御装置(標準)

1,30段階のプログラム温度制御インテリジェントPID調整.

2 .過熱保護付き,温度が過熱または破損した場合,(電気炉の温度が1200度を超えた場合、または熱電対が飛んだ場合,)、電気炉加熱回路は自動的に遮断されます。主回路のACリレーは自動的に切断されます,主回路が切断されます.オン,パネルのオンライトがオフになります,オフライトがオンになります,そして制限付き保護電気かまど).

3 , 485通信インターフェース付き(ソフトウェア購入時の標準)

4 ,電源オフ保護機能,、つまり,電源をオフにした後に電源をオンにしたとき,プログラムは開始温度,から開始しませんが、炉の温度は上昇します停電時から.

5,メーターには温度セルフチューニングの機能があります

(輸入楽器の交換には追加料金が必要です,オプション)

fp93温度調節器(shimashima , japan)ヨーロッパ機器タッチスクリーン機器

チャンバー材料


1.真空吸引ろ過により形成された高品質で高純度のアルミナ多結晶繊維硬化炉.

2.日本の技術によって形成された.

3 .炉内の抵抗線の間隔とピッチはすべて、日本で最高の熱技術,に従って配置され、温度場は熱ソフトウェア.によってシミュレートされます。

バルブとフランジ


60/80/100上面図

温度校正(オプション)

管状炉の定期的な温度校正は、炉の温度の精度と均一性を維持します.この作業を支援するために会社から簡単な校正ツールを購入できます.完全な校正キットには標準の熱電対sタイプが含まれています,温度校正器.

制御精度

+/-1℃

引き金

位相シフトトリガー

電化製品

浙江チント

シリコン制御

106/16エセミクロン

最高温度

1200℃

定格温度

1150℃

加熱速度

≤30℃/分(必要に応じて変更可能)

推奨温度上昇率

≤15℃/分

熱電対タイプ

kタイプ

加熱長さ

400-440mm

一定の温度の長さ

150mm

温度場曲線


周辺表面温度

≤45℃

オープンカバー保護システム

炉のカバーが開くと,、リレーは自動的に主電源を遮断し,、ユーザーの安全を効果的に確保します.



vs-0 . 1真空システム(vrd16)

システム(チューブ炉内の真空を0 . 6paにポンプできる)は、KF25インターフェース,高真空バッフル法,抵抗真空ゲージ,ベローズ,を備えた吸引フランジ(自作)で構成されていますブラケット(自家製),真空ポンプはフランジ出口でティーパイプを接続します,抵抗シリコンを三方パイプの一方の端に接続します,高真空フラッパバルブをもう一方の端に接続します,フラッパバルブと真空ポンプをdia25,の波形で接続し、接続ポート..にKF25クイッククランプを使用します。

1.圧力検出システム

zdr-i/zdr-i-led型単抵抗真空計

抵抗真空計(ピラニ真空計とも呼ばれます)は、特別に安定化されたZJ-52T抵抗計を使用し、新しい定温動作モードを定電力に適用します.。同時にマイクロプロセッサを使用して制御します,レギュレーションの非線形性.線形処理.安定した性能,広い測定範囲,高速応答と小さなドリフト.および強力で信頼性の高いマイクロプロセッサベースのリレー制御,シリアル通信出力,真空アナログ出力およびその他の機能.は、大まかな低真空の測定および真空アプリケーションの制御に特に適しています.

2 .技術的パラメータ:

*配電規制:ZJ-52T抵抗ゲージ

※測定範囲:10 5〜10 -1 pa

*測定回数:片道

*制御チャネルの数:2本の道路を4本または8本の道路に延長できます

*制御範囲:5×10 3〜5×10 -1 pa

*制御モード:リレー接点出力,負荷容量AC220V / 3A(またはDC28V / 3A)非誘導負荷

*電力:90-260v / 50hzまたは220V±10%50hz

*消費電力:25W

*重量:4kg / 3kg / 0 . 5kg(シャーシによって異なります)

*シャーシサイズ:240×88×280または265×119×280または96×96×120

480×88×280または480×119×280(幅×高さ×奥行き)


3 .パフォーマンス特性:

*LEDグリーンスクリーンデジタルディスプレイ.

*幅広い星の調査

*速い応答速度

*マイクロコンピューター補正は非直線性を調整し、測定誤差を低減します.

*光絶縁,デジタルフィルタリング,強化された干渉防止能力.

*PVCカラーパネル,美しい外観.

※ポイント制御またはエリアリレー制御出力,、セットポイントにはパワーダウン保護メモリ機能.があります。

4.VRD16真空ポンプを採用

vrd16

専門用語

仕様

vrd-16

ポンプ速度m³/h(l / s)

50Hz

16m³/h

4 . 4 l / s

60hz

19.2m³/h

5 . 2 l / s

分圧を制限する-ガスバラストなし(pa)

4x10-2

全圧を制限する-ガスバラストなし(pa)

4x10-1

全圧を制限する-ガスバラスト(pa)

8x10-1

電源

単相/3相

モーター出力(kw)

0 . 75 KW / 0 . 55 kw

インレット/アウトレット接続dn

kf25

オイル容量

0 . 9-1 . 5 l

モーター速度(rpm)

50Hz

1440 rpm




2チャンネル質量流量計ガス供給システム

1.概要

1)シリンダーから出たガス,減圧弁,を介して減圧し、PTFEチューブを通過してガス供給システム,の入口に到達し、質量流量計,を通過するガスの流れを制御します。 次にガス混合タンクを通過し、次に炉の入口に入り,、ガスが排出されます.気管が出てきます,三方弁を通過します,一端が真空ポンプに接続されます,そして一端は空気出口に接続されています.

2)ガス混合槽に圧力計を接続し,、圧力計表示ディスクと質量流量計を同一パネルに設置.。

3)各ガスラインには安全のための高圧遮断弁があります.

4)ガス経路には高精度ガスフロート流量計,を採用し、ガス経路の内部には耐食性に優れたPTFEチューブ,を採用しています.。

5)すべてのジョイントは、優れた気密性と高圧耐性を備えたフェルール,で接続されています.。


2 .技術的パラメータ:

エアチャンネル:2

空気圧フロー制御:マスフローコントローラー.

インターフェース:Φ6

ディスプレイ:led

作業環境温度:5〜45°C

フローコントローラー:マスフローコントローラー(詳細な技術パラメーターについては、以下を参照してください)

ptfeチューブ:xΦ4の外側のΦ6

圧力真空計:-0 . 1〜0 . 15 mpa , 0 . 01 mpa / Division

グローブバルブ:Φ6


3 .ガス供給システムの内圧は大きすぎないようにしてください,。そうしないと、ガスが正常に流出できる限り,空気漏れが発生しやすくなります.。


4 .ガス供給システムの構成:

1)質量流量計:2

2)圧力計:1

3)カットオフバルブ:3

4)ボードコネクタを介して:3

5)バルブコネクタ:2

6)シリンダージョイント:2

7)テフロンチューブ:10M

8)曝気槽:1

9)ファーネスラック:1セット

マスフローメーターの技術的パラメーター:マスフローコントローラーの一般的なタイプ,アナログ回路,ラバーシール,管状シャント,ブロックしにくい.

主な指標:

範囲:5 , 10 , 20 , 30 , 50 , 100 , 200 , 300 , 500 SCCM , 1 , 2 , 3 , 5 , 10 SLM(範囲は任意に選択できます)

•精度:±1 . 5%F . S

•線形:±0.5から1.5%F . S

•再現性:±0 . 2%F . S

•応答時間:10S

•空気圧降下:<0 . 01mpa

•最大圧力:3MP

•作業環境温度:5〜45°C

•入力および出力信号:0〜+ 5 . 00V

•電力:+ 15V 50ma -15V 50ma

•寸法:158 * 30 * 110



CVD system

Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



1つの標準的な輸出パッケージ:内部衝突防止保護,外部輸出木箱パッケージ.

2エクスプレスでの配送,飛行機での配送,お客様の要件に応じた海上での配送'最適な方法を見つけるための要件.

発送プロセス中の損傷の責任を負う3,は、損傷部分を無料で変更します.



ホットタグ :

関連製品
CVD System
1500-1500Cデュアルゾーン回転管状炉を備えたラボCVDシステム

営業部長: ギア Eメール: gia @ tmaxlaboratory . com wechat: dingqiuna

1600C CVD Furnace with Gas Supply System and Vacuum System -tmax
ガス供給システムと真空システムを備えた1600CCVD炉

営業部長: ギア Eメール: gia @ tmaxlaboratory . com wechat: dingqiuna

1600C CVD Furnace with Gas Supply System and Vacuum System -tmax
ガス供給システムと真空システムを備えた1600CCVD炉

営業部長: ギア Eメール: gia @ tmaxlaboratory . com wechat: dingqiuna

VS-0.1 Vacuum System with VRD16 Vacuum Pump for CVD System -tmax
CVDシステム用VRD16真空ポンプを備えたVS-0.1真空システム

営業部長: ギア Eメール: gia @ tmaxlaboratory . com wechat: dingqiuna

RF Power Supply for PECVD -tmax
PECVD用RF電源

営業部長: ギア Eメール: gia @ tmaxlaboratory . com wechat: dingqiuna

1200C CVD Furnace
Lab 1200C Single Temperature Zone Quartz Tube CVD Furnace with 440mm Heating Section

Sales Manager: Gia Email: Gia@tmaxlaboratory.com Wechat: Dingqiuna

Horizontal Planetary Ball Mill
小型研削盤ラボ試験装置ナノスケール水平遊星ボールミル粉砕機

営業部長: ギア Eメール: gia @ tmaxlaboratory . com wechat: dingqiuna

© 著作権: 2024 Xiamen Tmax Battery Equipments Limited 全著作権所有.

IPv6 サポートされているネットワーク

top