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Sales Manager: Gia
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Wechat: Dingqiuna
商品番号:
TMAX-650MH支払い:
L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal出荷港:
Xiamen Portリードタイム:
5 Days証明書 :
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate保証 :
Two years limited warranty with lifetime technical supportSEM サンプル前処理用高真空マグネトロン イオン DC または RF スパッタ コーティング コーター
はじめに
高 真空マグネトロン イオン スパッタリング コーターは、材料科学およびサンプル前処理に最適で設計されています。これは、金属、セラミック、半導体、絶縁体、またはその他の種類の膜材料の準備をコーティングするために、大部分の大学および材料科学および工学の科学研究機関で広く使用されています
。高真空マグネトロン イオン スパッタリング コータは、最も安定したスパッタリング環境を提供し、非常に短時間でマグネトロン スパッタリングの基本的な実験条件を達成します。 DC / RF の 2 種類のスパッタリング電力オプションを提供し、試料上に導電性または非導電性物質をスパッタリングできるようにし、物理蒸着 (PVD) パフォーマンスを向上させます。 表面処理やコーティングにも優れています。操作も簡単で、ユーザーフレンドリーです。
真空ポンプとチラーが含まれています。
パラメータ
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真空ポンプポンプセット |
(Oil 必須) rotary vacuum pump+(oil free) tウルボmオレキュランpポンプセット |
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ロータリー ポンプポンプ スピードスピード |
50 Hz : 16 m?/h (4.4 L/s)/ 60 Hz : 19.2m?/h (5.2 L/s) |
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分子 ポンプポンプ s速度 |
300 L/s |
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真空l制限 |
5x10-5Pa |
作業 p圧力 |
0.5～5Pa |
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掃除機をかけていますティ私 |
10分(10-3Pa) |
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真空m測定 |
測定範囲 大気圧から1×10-6Pa |
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ガス cコントロール |
ガスf低cコントローラー |
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チャンバーは化 |
Ï260*200mm (高さ) metal |
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マグネトロンtターゲット のソース |
ターゲット サイズ Ï 50*3mm(Cu)/tターゲット ソース: weakm磁性s物質 /mアテリアル |
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作戦方法方法 |
取扱説明書l |
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重量/サイズサイズ |
100kg/長さ610mm×幅420mm×高さ490mm |
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電源の供給 |
AC110V 60Hz または AC220V 50Hz |
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電力 c消費 |
<3000W |
冷却m方法<334 |
エア cウーリング(pump)+ water cooling(sパタリング tターゲット) |
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保証 |
1 年間の限定保証と生涯製品サポートt |
1 標準輸出パッケージ: 内部衝突防止保護、外部輸出木箱パッケージ。
2 最適な方法を見つけるために顧客の要件に応じて速達、航空、海で発送します。
3 配送中の破損については責任を負い、破損部分を無料で交換させていただきます。
カテゴリー
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