ラボ用マグネトロンカーボンスパッタリングコーティング熱に敏感な SEM サンプル調製用の熱蒸着コーター

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商品番号:
TMAX-SD900C
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リードタイム:
5 Days

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製品詳細

感熱 SEM サンプル調製用ラボマグネトロンカーボンスパッタリングコーティング熱蒸着コーター

はじめに

マグネトロンイオンスパッタリングユニット&熱蒸着カーボンコーターはラボ用 SEM サンプル前処理に最適であり、設計されています。 SD900C モデル (マグネトロンイオンスパッタリングユニット) は、イメージングを向上させるために、非導電性または熱に敏感な SEM サンプルを Au でコーティングするために広く使用されています。また、表面処理にも優れており、基板サンプルへの損傷を防ぎます。

SD900C モデル（熱蒸着カーボンユニット）カーボンコーターは、試料表面に導電性カーボンの薄膜を塗布します。このコーティングを非導電性サンプルに適用することは、SEM で分析する際のチャージアップ電子アーチファクトを軽減するための効果的な準備手法です。

適切な真空ポンプを使用すると、5 分以内に作業真空圧力に迅速に到達できます。ユーザーフレンドリーで操作も簡単です。

真空ポンプが付属しています。

チラーはオプションです。 (マグネトロンイオンスパッタリング装置用)

パラメータ

真空 pポンプet	(O必要) r回転 vacuum pump
ロータリーポンプポンプ s速度	50 Hz : 8 m³/h (2.2 L/s)/60 Hz : 9. 6m¹/h (2.6 L/s)
真空l制限	2Pa
最大スパッタリング電流	100mA
最大蒸発量現在	100A
作業、p圧力	20Pa -8 Pa
掃除機をかけていますティ私	<5分(2Pa)
真空m測定	測定範囲は大気から2*10^-2mbar
ガスコントロールコントロール	ガスf低cコントローラー
チャンバーが化	Î\|150*120mm (高さ) 傷つきにくい石英ガラス
マグネトロンターゲットの源	ターゲットサイズÏ 50*0.1mm(Au)/tターゲットソース:Au,Ag,Pt
蒸発ターゲットのソース	ターゲット材料:カーボンロープ/ターゲットソース:カーボンロープ
オペレーションm方法	取扱説明書l
(2個)重量/sサイズ	55kg/36長さ 0mm x 30幅 0mmx 38高さ 0mm
パワー sアップ	AC110V 60Hz または AC220V 50Hz
電力c消費量	<2000W
冷却 m方法	空気・冷却冷却(蒸発)+水冷(スパッタリング)
保証	生涯製品付きの 1 年間の限定保証サポートt