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Two years limited warranty with lifetime technical support自動真空DCスパッタリングターゲットコーティング装置 電池・薄膜用コータ
はじめに
コンパクト 自動イオンスパッタリングコーター (SD800 モデル) は、ラボ用 SEM サンプル前処理に最適で設計されています。イメージングを向上させるために、非導電性 SEM サンプルを Au でコーティングするために広く使用されています。表面処理にも優れています。
適切な真空ポンプを使用すると、作業真空圧力を迅速に達成できます。発生する熱が大幅に少なくなります。ユーザーフレンドリーで、時間制御を使用して操作が簡単です。
真空ポンプが付属しています。
パラメータ
真空ポンプセット |
(オイルが必要)ロータリー真空ポンプ |
ロータリーポンプ速度 |
50 Hz : 8m 3/h (2.2 L/s)/ 60 Hz : 9.6m 3/h (2.6 L/s) |
掃除機をかける時間 |
< 2 分 |
チャンバーサイズ |
Î|115*100mm (高さ) 耐傷性石英ガラス |
マグネトロンターゲットソース |
ターゲットサイズÏ 50*0.1mm(Au)/ターゲットソース: Au、Ag、Pt |
操作方法 |
取扱説明書 |
重量/サイズ |
40kg/長さ 307mm x 幅 260mm x 高さ 260mm |
電源 |
AC110V 60Hz または AC220V 50Hz |
消費電力 |
<1500W |
冷却方法 |
空冷 |
保証 |
1 年間の限定保証と生涯製品サポート付き |
1 標準輸出パッケージ: 内部衝突防止保護、外部輸出木箱パッケージ。
2 最適な方法を見つけるために顧客の要件に応じて速達、航空、海で発送します。
3 配送中の破損については責任を負い、破損部分を無料で交換させていただきます。
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