ペロブスカイト太陽電池の製造に使用される DC または RF 高真空マグネトロンイオンスパッタコーティングコーター

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商品番号:
TMAX-650MH
証明書 :
CE Certified
保証 :
1 Year limited warranty with lifetime support

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製品詳細

ペロブスカイト太陽電池の製造に使用される DC または RF 高真空マグネトロンイオンスパッタコーティングコータ

はじめに

高真空マグネトロンイオンスパッタリングコータは材料科学とサンプル前処理に最適であり、設計されています。これは、金属、セラミック、半導体、絶縁体、またはその他の種類の膜材料の準備をコーティングするために、大部分の大学および材料科学および工学の科学研究機関で広く使用されています[16]。

高真空マグネトロンイオンスパッタリングコータは、最も安定したスパッタリング環境を提供し、非常に短時間でマグネトロンスパッタリングの基本的な実験条件を達成します。 DC / RF の 2 種類のスパッタリング電力オプションを提供し、試料上に導電性または非導電性物質をスパッタリングできるようにし、物理蒸着 (PVD) パフォーマンスを向上させます。表面処理やコーティングにも優れています。操作も簡単で、ユーザーフレンドリーです。

真空ポンプとチラーが含まれています。

パラメータ

真空ポンプポンプセット	(Oil 必須) rotary vacuum pump+(oil free) tウルボmオレキュランpポンプセット
ロータリーポンプポンプスピード	50 Hz : 16 m?/h (4.4 L/s)/ 60 Hz : 19.2m?/h (5.2 L/s)
分子ポンプポンプ s速度	300 L/s
真空l制限	5x10-5Pa
作業 p圧力	0.5～5Pa
掃除機をかけるティ私	10分(10-3Pa)
真空m測定	測定範囲は大気圧から1*10Paまで
ガス制御	ガスf低cコントローラー
チャンバーのサイズ	Ï260*200mm (高さ) metal
マグネトロンターゲットの源	ターゲットサイズ Ï 50*3mm(Cu)/tターゲットソース:weakm磁性s物質 /mアテリアル
作戦方法	取扱説明書l
重量/サイズサイズ	100kg/長さ610mm×幅420mm×高さ490mm
電源供給	AC 110V 60Hz または AC 220V 50Hz
電力c消費量	<3000W
冷却m方法	エア cクーリング(pポンプ)+ wアフター cクーリング(sパタリング tターゲット)
保証	1 年間の限定保証と生涯製品サポートt