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商品番号:
TMAX-SD900M証明書 :
CE Certified保証 :
1 Year limited warranty with lifetime supportペロブスカイト太陽電池用ラボ用真空マグネトロン イオン スパッタリング コータ
はじめに
マグネトロン イオン スパッタリング コータ (SD900M モデル) はラボ用 SEM サンプル前処理に最適であり、設計されています。イメージングを向上させるために、非導電性または熱に敏感な SEM サンプルを Au でコーティングするために広く使用されています。表面処理にも優れており、基板サンプルへのダメージを防ぎます。
コーティング結果の SEM によるサンプル写真 (SD-900M モデルによる) EPTFE (延伸ポリテトラフルオロエチレン)
低真空。適切な真空ポンプを使用すると 5 分以内にすぐに達成できます。発生する熱が大幅に少なくなり、基板サンプルへのプラズマ損傷が回避されます。ユーザーフレンドリーで操作も簡単です。
真空ポンプが付属しています。チラーはオプションです。
パラメータ
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真空ポンプポンプセット |
(O必須) r回転vacuum pump |
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ロータリーポンプポンプス速度 |
50 Hz : 8 m¹/h (2.2 L/s)/60 Hz : 9 .6m¹/h (2.6 L/s) |
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真空 l制限 |
2 Pa |
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最大スパッタリング電流 |
100mA |
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作業 p圧力 |
20Pa - 8 Pa |
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掃除機をかけるtime |
<5 分(2 Pa) |
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真空m測定 |
測定範囲は大気から2*10-2mbarまで |
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チャンバーのサイズ |
Φ150*120mm (高さ) 耐傷性石英ガラス |
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マグネトロンターゲットの源 |
ターゲットサイズÏ50*0.1mm(Au)/tターゲットソース:Au,Ag,Pt |
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作戦方法方法 |
取扱説明書l |
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重量/サイズサイズ |
45kg/36長さ 0mm x 30幅 0mmx 38高さ 0mm |
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電源供給 |
AC110V 60Hz または AC220V 50Hz |
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電力c消費量 |
<1500W |
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冷却方法<331 |
水冷(オプション) |
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保証 |
生涯製品サポート付きの 1 年間の限定保証 |
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