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ペロブスカイト太陽電池研究装置ライン

太陽光発電産業用ラボ用高真空熱蒸着カーボンコーター

太陽光発電産業用ラボ用高真空熱蒸着カーボンコーター

Sales Manager: Gia
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  • 商品番号:

    TMAX-SD-100AF
  • 証明書 :

    CE Certified
  • 保証 :

    1 Year limited warranty with lifetime support
製品詳細

太陽光発電産業向けラボ用高真空熱蒸着カーボンコーター



モデル-SD-100AF

技術仕様

真空ポンプ

(要オイル)ロータリー真空ポンプ

ロータリー排気速度

50 Hz: 16 m3/h (4.4 L/s) /60 Hz: 19.2m3/h (5.2 L/s)

ターボ分子ポンピング速度

600L/S

真空限界

5x10-4Pa

最大蒸発電流

100A

使用圧力

5x10-3Pa

バキューム時間

5分(2Pa)

真空度測定

測定範囲は大気から 1x10-5pa

チャンバーサイズ

(p250*300mm(高さ) 傷つきにくい石英ガラス

蒸発ターゲットソース

ターゲット材料: カーボンロッド ((p5mm) / ターゲットソース: カーボンロッド

操作方法

取扱説明書









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