8 ～ 12 インチの基板と真空ポンプを備えたラボ用真空スピンコーター

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製品詳細

8 ～ 12 インチの基板と真空ポンプを備えたラボ用真空スピンコーター

Spin Coater

主な機能-

１． 12 インチシリコンウェハースピンコーティングをサポート

2. 最高速度は 6000 rpm に達することができます。

3. 加速度 10-1000RPM/S 連続調整可能

４． Bluetooth通信あり

5. 標準 485modbus 通信をサポート

6．無料の PC 制御ソフトウェア。

スピンコーター仕様 â€KW-4Q スピンコーターâ€

基板サイズ	200 ～ 300mm (8 インチ～ 12 インチ)
速度範囲	10-6000RPM
加速範囲	10- 1000RPM/S 調整可能
モーター速度の安定性	±1RPM
スピンコーティングの均一性	±1%
ヒューマンマシンインターフェース	8 インチタッチスクリーン
通信インターフェース	USB (標準)/RS485 (オプション)/Bluetooth (標準)
振り向く	順方向と逆方向をサポート
スタイラス	スタイラスBAMBOO抵抗ペン（標準）
真空ポンプ	SC-550V
データを設定	無制限のデータグループ。各グループには 15 の速度 (標準) または無制限の速度 (オプション) があります
期間あたりの秒数	0 ～ 10000 秒
ストレージデータ	無制限のデータ
データ保護	デフォルトはパワーダウン保護付き
動作電圧(スピンコーター)	AC100-250V、単相、50/60Hz
動作電圧(ポンプ)	AC220V(標準) AC110V(オプション)
排気速度	→¥60L/MIN
最大真空度	-85KPA
騒音レベル	?55db
スピンコーターパワー	2KW
ポンプパワー	350W
寸法図(スピンコーター)	550mm(W)X550mm(D)X350mm(H)
重量(スピンコーター)	50kg
重量(ポンプ)	9KG
相対湿度	< 85%
周囲温度	0-40â
保証	1年