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商品番号:
TMAX-SC-SU-I証明書 :
CE Certified保証 :
1 Year limited warranty with lifetime support研究室Pエロブスカイト SオーラC細胞Lアブ製造L ine 各種金属ターゲットに適した200W卓上マグネトロンスパッタリング装置
主な機能ï¼
1. 4.3 インチのフルカラー タッチ スクリーン設計、LCD スクリーンのリアルタイム真空度表示、スパッタリング電流、電圧、真空度およびその他のパラメータのリアルタイム表示。<35
２． 直径50mm、厚さ1～2mmのさまざまな金属ターゲットに適しています。 ターゲットを置き換えると便利です。数式はデフォルトで次の操作のために保存されます。
3．さまざまな不活性ガス、窒素、アルゴンなどを通過させることができ、吸気量は調整可能です。
マグネトロンスパッタリング仕様 ï=SC-SU-Iï=
|
石英チャンバーのサイズ |
150X120MM |
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サンプル サイズ |
70mm |
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スパッタリング サイズ |
50mm |
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最大真空度 |
5パ |
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ガス使用可能 |
水素窒素、などの不活性ガス |
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最大スパッタリング速度 |
8nm/分 |
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パワー |
200W |
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寸法 |
360(W)X310(D)X150mm(H) |
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相対湿度 |
< 85% |
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周囲温度 |
0-40? |
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保証 |
1 年 |
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ペロブスカイト太陽電池研究機で使用される4インチ基板に適したプレートホルダー付き手動式真空スピンコーター次 :
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