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  • 60 ,80,または100120mmチューブサイズの1000-1900°Cスプリットチューブ炉
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  • シングルまたはマルチゾーン回転管状炉
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  • 真空雰囲気昇降炉
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  • デュアルチューブCVDスライディングファーネスと4チャンネルガス＆真空システム
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