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商品番号:
TMAX-4Q証明書 :
CE Certified保証 :
1 year最高速度6000rpmに達する高精度真空スピンコーティング機
主な機能-
1. 12インチシリコンウェハスピンコーティング対応
2. 最高速度は 6000 rpm に達することができます。
3. 加速度 10-1000RPM/S 連続調整可能
4. Bluetooth通信あり
5. 標準 485modbus 通信をサポート
6. 無料の PC 制御ソフトウェア。
スピンコーター仕様 â€KW-4Q スピンコーターâ€
基板サイズ |
200 ~ 300mm (8 インチ ~ 12 インチ) |
速度範囲 |
10-6000RPM |
加速範囲 |
10- 1000RPM/S 調整可能 |
モーター速度の安定性 |
±1RPM |
スピンコーティングの均一性 |
±1% |
ヒューマンマシンインターフェース |
8 インチのタッチスクリーン |
通信インターフェース |
USB (標準)/RS485 (オプション)/Bluetooth (標準) |
振り向く |
順方向と逆方向をサポート |
スタイラス |
スタイラス BAMBOO 抵抗ペン (標準) |
真空ポンプ |
SC-550V |
データを設定 |
データの無制限のグループ。各グループには 15 の速度 (標準) または無制限の速度 (オプション) があります |
期間あたりの秒数 |
0 ~ 10000 秒 |
ストレージデータ |
無制限のデータ |
データ保護 |
デフォルトはパワーダウン保護付き |
動作電圧(スピンコーター) |
AC100-250V、単相、50/60Hz |
動作電圧(ポンプ) |
AC220V(標準) AC110V(オプション) |
排気速度 |
¥60L/MIN |
最大真空度 |
-85KPA |
騒音レベル |
?55db |
スピンコーターパワー |
2KW |
ポンプパワー |
350W |
寸法図(スピンコーター) |
550mm(W)X550mm(D)X350mm(H) |
重量(スピンコーター) |
50kg |
重量(ポンプ) |
9KG |
相対湿度 |
< 85% |
周囲温度 |
0-40â |
保証 |
1年 |
パッケージ:
1 標準輸出パッケージ: 内部衝突防止保護、外部輸出木箱パッケージ。
2 最適な方法を見つけるために顧客の要件に従って速達、航空、船で発送します。
3 配送中の破損については責任を負い、破損した部品を無料で交換させていただきます。
配達時間:注文確認後15〜20日、詳細な配達日はに従って決定する必要があります。
生産時期と注文数量。
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