PCBおよびマイクロエレクトロニクス用の真空プラズマ洗浄機プラズマクリーナー洗浄装置

製品説明

( 1 . 1) プラズマ洗浄の役割

プラズマ洗浄の原理は主に:

(A) 材料の表面のエッチング-物理的効果

多数のイオン,励起分子,やフリーラジカル,などのプラズマ中の多数の活性粒子,が固体サンプルの表面に作用し,、元のサンプルを除去するだけではありません汚染物質と不純物,だけでなく、サンプルの表面を粗くするエッチング効果も生み出します.多くの微細なピットが形成されます,サンプルの表面比を増加させます.固体表面の濡れ特性を改善します.

(B) 活性化結合エネルギー,架橋

プラズマ中の粒子のエネルギーは0-20ev,であり、ポリマーの結合のほとんどは0-10ev.の間です。

固体表面を使用すると,固体表面の元の化学結合が切断され,、プラズマ内のフリーラジカルとこれらの結合が破壊される可能性があります

架橋構造のネットワークの形成は、表面活性を大幅に活性化します.。

(C) 新しい官能基の形成-化学

反応性ガスが放電ガスに導入されると,、活性化物質の表面で複雑な化学反応が起こり,、炭化水素基,アミノ基,カルボキシル基,などの新しい官能基が発生します。 3などが導入され,、これらの官能基はすべて活性基,であり、材料の表面活性を大幅に向上させることができます.。

( 1 . 2) 真空プラズマ洗浄の利点

プラズマ洗浄は重要な材料表面改質法であり、多くの分野で広く使用されています.。

また、超音波洗浄,UV洗浄,など.,などの従来の洗浄方法,には、次の利点があります。:

(A) 低い処理温度

処理温度は80まで低くすることができます°C-50° C .低い処理温度により、サンプル表面に熱の影響がないことが保証されます.

(B) プロセス全体で汚染はありません

プラズマクリーナー自体は、汚染を引き起こさない非常に環境に優しいデバイスです, 処理プロセス中に汚染を引き起こしません.

（c） 安定した加工効果

プラズマ洗浄の処理効果は非常に均一で安定しており,、長期間サンプルを維持する効果は良好です.。

(D) さまざまな形状のサンプルを処理できます

複雑な形状のサンプルの場合,プラズマ洗浄は適切な解決策を見つけることができます.

真空プラズマ洗浄により、固体サンプルの内部位置の洗浄が可能になります.。

( 1 . 2) 製品原理

プラズマクリーナーの構造は、主に制御システム,励起電源システム,真空チャンバー,プロセスガスシステム,と真空ポンプシステム.の5つの主要コンポーネントに分けられます。

（a）cobtrolシステム

1つの標準的な輸出パッケージ：内部衝突防止保護,外部輸出木箱パッケージ.

2エクスプレスでの配送,飛行機での配送,お客様の要件に応じた海上での配送'最適な方法を見つけるための要件.

発送プロセス中の損傷の責任を負う3,は、損傷部分を無料で変更します.