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Sales Manager: Gia
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商品番号:
TMAX-KT-CML300証明書 :
CE Certified保証 :
1 Year limited warranty with lifetime support高出力メカニカルポンプを備えた 304 ステンレス鋼チャンバー真空乾燥機
製品の特徴:
a. 真空チャンバー: チャンバーの安全性と信頼性を高めるためにチャンバーとして 304 ステンレス鋼が使用されており、キャビティのカバーには成膜プロセスの観察を容易にするための窓が付いています。シールリングはチャンバーの密閉性を高めるためにフッ素系接着剤でシールされています。
b. 真空システム: 高出力機械ポンプの排気量は 90m3/h に達し、到達圧力は 5*10-1Pa に達します。
c. 装置の利点: N窒素圧力は、圧力値と時間を保持するように設定でき、ポンプ速度と圧力解放速度を制御でき、プロジェクト全体の窒素保護が可能です。サンプルスタンドには、異なるサイズのデバイスに対応できる 2 つの高さがあります。
技術パラメータ
キャビティ材質 |
304 ステンレス鋼 |
|
装置サイズ |
約800×700×1300mm（長さ×幅×高さ） |
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サンプルテーブルサイズ |
300×300mm |
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基板厚さ |
1-30mm |
|
限界真空 |
â¤5*10-1Pa |
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真空時間 |
15s ～ 8Pa (最大排気速度) |
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動作電源 |
220V |
|
装備重量 |
約150kg |
|
設備電力 |
600W |
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真空ポンプブランド |
バウス |
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真空ポンプ重量 |
75kg |
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真空ポンプ |
電圧および電力 380V/1.1kW |
|
真空ポンプの排気速度 |
90m3/h |
|
真空計の測定範囲 |
1.0×10-5～1.0×10-1Pa |
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