基板サイズ

5-200mmï= 標準ï=/5-600mm ï=オプションï=

速度範囲

10- 12000RPMï= 標準ï=

11-10-20000RPM ï=オプションï=

加速範囲

10-30000RPM/Sï= 調整可能

モーター速度の安定性

±1RPM

スピンコーティングの均一性

±1%

加熱レンジ

室温 -200℃

加熱速度

～100°(1S)～200°(2S)

室温までの冷却速度

2秒

ヒューマンマシンインターフェース

8 インチのタッチスクリーン

通信インターフェース

USB (標準) / RS485 (標準) /Bluetooth (オプション)

振り向く

順方向と逆方向をサポート

スタイラス

スタイラス BAMBOO 抵抗ペン (標準)

真空ポンプ

SC-550V

データを設定

無制限のグループ データ、-グループごとに 10 速度 (標準)

期間あたりの秒数

0 ～ 10000 秒

ストレージデータ

無制限のデータ

データ保護

パワーダウン保護付きデフォルト

動作電圧(スピンコーター)

AC100-250V、単相、50/60Hz

動作電圧(ポンプ)

AC220V(標準) AC110V(オプション)

排気速度

¥60L/MIN

最大真空度

-85KPA

騒音レベル

?55db

スピンコーターパワー

650W

ポンプパワー

350W

寸法図(スピンコーター)

340mm(W)X500mm(D)X250mm(H)

チャンバー材質

全体 PTFE 素材

重量(スピンコーター)

18KG

重量(ポンプ)

9KG

相対湿度

< 85%

周囲温度

0-40â

保証

1年